進水水源

蒸餾水、純凈水、去離子水　水溫1－45℃　TDS﹤5ppm   電導率﹤10μs/cm　 TOC﹤30ppb

出水水質

超純水電導率≤0.055μs/cm@25℃；電阻率： 18.25MΩ. cm@25℃

微粒子/顆粒物（大于0.05μm）含量：＜1/ml　　 　熱源含量：＜0.001Eu/ml

微生物/菌落數含量：＜1cfu/ml　　　　　　　　 　總有機碳量TOC：＜5ppb

金屬陽離子含量（單位PPb）：

  Fe(鐵)＜0.005   Cu(銅) ＜0.005   Al(鋁) ＜0.005   Ni(鎳) ＜0.005  

  Zn(鋅) ＜0.02   Cr(鉻) ＜0.005   Na(鈉) ＜0.01    K(鉀) ＜0.02

陰離子含量(單位PPb):

  Cl^-(氯) ＜0.01  NO₂^-(亞硝酸根) ＜0.02  NO₃^-(硝酸根) ＜0.02   SO₄^2-(硫酸根) ＜0.01

制水量

1.5L/min

在線監測

配備在線電阻率監測儀

儲水桶配置

配有液位控制的50升原水箱

功   率

30W

電   源

220V/50HZ　

UF超濾配置

孔徑0.05μm

主機體積

長430mm×寬480mm×高440mm 

重　　量

28kg