項目

EM6200

EM6200Z

分辨率

SE:4.5nm (30KV)；BSE:6.0nm (30KV)

放大倍數

底片放大：15X ~ 250,000X   屏幕放大：30X ~ 500000X

電子槍類型

翻開式發叉結構鎢燈陰極

加速電壓

0 ~ 30KV

透鏡系統

三級電磁透鏡（錐形物鏡）

物鏡光闌

三個光闌可在真空外選擇調節

樣品臺

手動

X/Y軸自動

行程

X

0 ~ 50mm

Y

0 ~ 50mm

Z

0 ~ 25mm

R

360°

T

-5° ~ 90°

探測器

二次電子探測器，背散射電子探測器（可選），X-ray能譜儀（可選）

真空系統

分子泵