天津大學擬819萬元采購一套聚焦離子/電子雙束系統

[2018/5/17]

  作為中國第一所現代大學，天津大學是211工程、985工程首批重點建設的大學。學校科研實力雄厚，始終聚焦國家重大戰略需求、聚焦世界科技發展前沿，取得了豐碩的成果。隨著中國經濟實力的提高，大學實驗室建設也走向了更加專業化、規模化、完整化的道路。天津大學時刻注重提升學院的科研水平，積極完善儀器設備配置，培養更多優秀人才。

實驗室是現代科學的搖籃，是培養科技人才的孵化器，實驗室儀器的購買關系到大學師資力量和教學水平的提高。近日，天津大學精儀學院就聚焦離子/電子雙束系統項目進行公開招標。預算金額為819萬元，共采購一套聚焦離子/電子雙束系統。

項目名稱：天津大學精儀學院聚焦離子/電子雙束系統

項目編號：1504-1842018J0002 (TDZC2018J0022)

一、采購項目的名稱、數量、簡要規格描述或項目基本概況介紹：

序號
設備名稱
數量
簡要技術規格
1
聚焦離子/電子雙束系統
1套
具備離子束加工過程實時監控功能

  聚焦離子/電子雙束系統是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。在半導體行業有著重要作用，可用來切割納米級結構，對光刻技術中的屏蔽板進行修補，制作透射電鏡樣品，分離和分析集成電路的各個元件，激活由特殊原子組成的材料，使其具有導電性等等。

  目前，我國的科研單位及高等院校在聚焦離子束曝光技術及其應用方面也作了大量的研究工作并取得了可喜的成績。未來，隨著我國微電子工業的發展，聚焦離子束曝光技術及其應用技術也將被提高到新的水平。天津大學精儀學院此次添置這一設備，將為學科研究工作順利開展提供硬件支撐，意義重大。

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