1、看真空泵主要技術性能(真空度等)是否達到設計要求或工藝要求，附屬設備如冷凝器等是否齊全，在設備進行運轉時是否平穩，聲響正常，沒有過熱的情況，封閉良好。

　　2、真空表等指示值正確，并要定期進行校驗：各個閥門密封良好、啟閉靈活、沒有泄漏現象、管道無泄漏、并定期進行檢查。

　　3、旋片式真空泵設備潤滑系統良好好，潤滑油質符合規定，并要定期進行檢查及換油。

　　4、真空泵及冷卻系統設施整潔，沒有銹蝕。

　　5、電動機配備合理，運行正常(溫升和聲響正常)，電氣線路安全可靠，有接地保護措施，電氣裝置(控制柜)可靠，電氣儀表指示正確;安全防護裝置齊全可。

　　6、水環式真空泵冷卻系統運行正常，冷卻裝置完好，排水溫度不超過規定要求，有斷水保護裝置。通常所用的工作液都是水。作用在轉子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體，這樣就使水環的溫度升高。水環的部分水及氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過程中所產生的大部分熱量被帶走。所以需不斷的補充新鮮的水，使水環泵的工作溫度維持恒定。在大部分的水環式真空泵中，工作溫度約為15至20℃，這取決于所補充水的溫度。其實，水環泵的極限壓力并不太重要，因為不同的液體，在壓力低于50-60hPa時，會發生氣蝕現象，泵的部件會遭到損壞。當泵接近極限壓力時，抽速很低，泵入口處的水開始沸騰。當轉至泵的出口時，形成的氣泡開始破裂。這樣就會產生很大的噪聲，同時泵的驅動輪和泵腔等部件被逐漸破壞。此種現象一般叫作氣蝕現象。一旦氣蝕現象發生，就需通過小閥引進少許的新鮮空氣。在這種情況下，在入口管道上開個小孔，方便定量地加入些新鮮的空氣，若使用氣體噴射器，氣蝕現象就不會產生了。