原子力顯微鏡 項目是（深圳市財政委員會批復的高端人才科研啟動費）項目。

  設備主要用途是：原子力顯微鏡一種新型納米顯微技術，具有分辨率高、樣本制作方便等優點。原子力顯微鏡的應用范圍廣泛，它不僅可以在常溫大氣環境下測量樣品的表面微觀形貌，還可以測量樣品表面的物理、化學、機械、電子、生物等特性，拓展樣品縱向的深度信息，被譽為“開啟納米世界的鑰匙”，甚至可以在進行納米微觀刻蝕。該設備在所屬項目中是作為聚合物刷圖案制備與表征的關鍵設備。

 

該設備項目預算為168萬。  

1）投標人”系指響應采購文件要求、參加本次招標采購的供應商。 (1) 投標人必須是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿易往來的國家或地區（以下簡稱“合格來源國/地區”）的法人或其他組織，在法律上和財務上獨立、合法運作并獨立于招標人和招標機構，具有相關經營范圍，有資格和能力提供本采購項目的貨物及服務的制造商或代理商（或經銷商）。須提供營業執照或企業注冊證明復印件（經營范圍必須涵蓋本次招標貨物，加蓋公章）。深圳大學是科教儀器設備減免稅單位，如果是境外供貨，投標人應有境外供貨與外幣結算資格或者是取得了境外供貨貿易商的投標授權。 若投標人按照合同提供的貨物不是投標人自己制造的，投標人應得到貨物制造商同意其在本次投標中提供該貨物的正式授權書原件或是合法代理商（若投標人為合法代理商應出具有效代理證明掃描件，制造商除外）。 （2）證明投標人已具備履行合同所需的財務、技術和生產能力的文件。 （3）投標人須提供設備在國內的銷售業績表、合同復印件或中標通知書復印件（表中應列出設備的出廠日期、用戶名稱、地址、聯系人及聯系方式等） （4）參與國際招標的投標人必須在中國國際招標網www.chinabidding.com 注冊成為會員，具有深圳市政府采購注冊供應商資格。  
2）參與政府采購項目投標的供應商近三年內無行賄犯罪記錄（由采購中心定期向市人民檢察院申請對政府采購供應商庫中注冊有效的供應商進行集中查詢，投標文件中無需提供證明材料）； 

   

1．采購貨物配置功能要求，各設備的主要技術參數、性能規格

技術指標

Specifications

原子力顯微鏡主機

Atomic force microscope main unit

原子力顯微鏡的應用范圍廣泛，可以在常溫大氣環境下測量樣品的表面微觀形貌，還可以測量樣品表面的物理、化學、機械、電子、生物等特性，拓展樣品縱向的深度信息。要求配備聚合物筆印刷功能

The atomic force microscopy has a wide range of applications, and can be used to measure the surface morphology of the samples under normal temperature and atmospheric environment. The physical, chemical, mechanical, electronic, biological and other characteristics of the sample surface can be measured, also expand the depth information of the sample. Required   polymer pen lithography function

1、 工作模式

Working mode

★1.1真正的非接觸式

True non-contact mode

1.2接觸式

Contact mode

1.3輕敲式

Tapping mode

1.4橫向力模式（LFM）

Lateral force mode

1.5力-距離曲線（F-D）

Force distance curve

1.6相位像

Phase image

★2、掃描器 Scanner

2.1閉環平板掃描器

Closed loop feedback scanner

2.2 XY掃描范圍：100um×100um

XY scan range: 100 × 100 μm

 2.3分辨率：閉環0.2nm，開環0.01nm

 Resolution:0.2 nm (closed-loop), < 0.01 nm (open-loop)

2.4 Z掃描范圍：12um，分辨率：0.001nm

Z Scan range: 12 μm, Resolution: 0.001nm

3、原子力顯微鏡頭部

AFM Head

3.1 聚焦波長：

830nm Focusing wavelength：830nm

3.2工作范圍：12um（噪音水平0.03nm）

Moving range：12um  (Noise level: 0.03 nm)

3.3 含：一個高伺服的撓性導向Z掃描器；一個夾裝探針的探針手；超亮二極管具有低相干性；預先對準的卡片裝配，換探針時無需拿下頭部

Including: one high servo flexible steering Z scanner; one probe hand with a clamp probe; a super light diode with a low coherence; a pre aligned card assembly, without taking the head when changing the probe.

★4、聚合物筆印刷頭部

Polymer Pen Lithography Head

 4.1聚合物筆印刷功能描述：通過對被轉移材料的精確控制，可以在襯底表面構造出任意的納米結構，達到微/納米尺度加工精度。Polymer Pen Lithograph Function introduction: By the precise control of the transferred material,the structure can be constructed on the surface of the substrate to achieve the accuracy of micro / nano scale processing.

4.2工作范圍：25um

  Working range:25um

4.3 含：一個高伺服的撓性導向Z掃描器；PPL探針手，水平角度：0度；10個PPL探針架

  Including: one high servo flexible steering Z scanner; one PPL probe hand, horizontal angle: 0 degree; ten PPL probe carriages

5、輔助觀察系統

  Assistant observation system

5.1樣品和探針到成像部件的光路嚴格同軸

Top view of sample and probe by providing the natural on-axis view from the top with high clarity

5.2 放大倍數：300倍

  Magnification: 300

5.3 分辨率：1um

  Resolution: ~1 μm

5.4 可觀察區域：480 × 360 μm

Field of View: 480 × 360 μm

5.5自動聚焦臺的垂直行程：20mm

Vertical stroke of the auto focus table:20mm 

6、成像系統

Imaging system

6.1 高分辨率數字變焦可調視場成像部件

Uses high resolution digital imaging system

6.2 最大分辨率：2440*1830

  Effective Picture Elements: 2440 × 1830

6.3 視場：最大1680*1260 μm；最小550*412 μm

  Field of View: max: 1680 × 1260 μm ;min: 550 × 412 μm (variable)

7、XY自動高精度樣品臺

   XY Motorized XY Stage

★7.1 行程范圍：150mm×150mm

     Travels up to 150 mm × 150 mm in both X and Y direction

★7.2 樣品尺寸：150mm×150mm

     Sample size: Up to 150 × 150 mm

7.3 樣品厚度：20mm

   Sample thickness: Up to 20 mm thick

7.4 支撐重量：500g

    Working sample load: Up to 500 g

8、馬達控制Z方向樣品臺

   Motorized Z Stage

★8.1 Z方向行程：27.5um

     Z travel range: 27.5 mm

8.2 精度：0.1um

    resolution :0.1 μm

8.3 重復性：2um

   repeatability :2 μm

 

9、軟件

  Software

 9.1專用的系統控制和數據獲取軟件，實時調整反饋增益、設置點、驅動頻率／振幅／相位；AFM數據分析軟件可運行在Windows。

    XEP for data acquisition and optical view. XEI for  image processing, analysis, and presentation. AFM data analysis software can be run in Windows

★9.2 聚合物筆印刷軟件

     Software for Polymer Pen Lithography

 9.2.1支持筆畫類型：點、線、點陣、線列、圖案

     Pattern type: Point, Line, Array of dots, Array of lines, and Bitmap

9.2.2支持筆畫控制參數：

    Control windows for patterning parameters

點及點陣的停留時間、Z方向的伸長/提起距離、Z方向的伸長/提起速度；

Point & point array: Dwell time, Z extension/lift height, and Z extension/lift speed

線及線列的停留時間、Z方向的伸長/提起距離、Z方向的伸長/提起速度、劃線速度；

Line & line array: Dwell time, Z extension/lift height, Z extension/lift speed, and Line speed

圖案每種顏色的停留時間、Z方向的伸長/提起距離、Z方向的伸長/提起速度；

Bitmap: Dwell time, Z extension/lift height, and Z extension/lift speed for each color value

9.2.3 用于調整樣品及針尖的水平系統

    Leveling system for sample/tip align

9.2.4 可以打開或保存為XML文件

    File format: XML

10、附件：標準光柵、10根接觸式探針和10根非接觸式探針、10個樣品臺

    Accessories: standard grating, 10 contact probes and 10 non-contact probes, 10 sample tables

原子力顯微鏡環境倉

Environmental Chamber (Glove Box) for AFM

1、 環境倉尺寸：完全包容原子力顯微鏡主機，控制整體氣氛

Box size: Fully inclusive of the atomic force microscopy main unit, control the overall atmosphere

2、 環境倉厚度：≧15mm

Box thick:≧15 mm

3、 環境倉材質：亞克力材質

Box material: acrylic

4、含：乳膠手套、進樣室、氣體交換口

with latex gloves ,an Antechambe, electrical feed-throughs and gas exchange outlets

原子力顯微鏡濕度控制系統

Humidity Control System for  AFM

1、 作用：控制環境倉的濕度

Controls the humidity of the Glove Box option

2、 濕度控制范圍：從2到90%

Humidity control range: from 2 to 90 %

主動式減震臺

Integrated Active Vibration Isolation

1、 作用：通過電磁換能器的直接速度反饋的主動隔振，以消除地面振動。

Provides active vibration isolation with direct velocity feedback via electromagnetic transducers to cancel out the floor vibration.

2、 減震頻率：1.2~ 200HZ

Active 1.2 Hz to 200 Hz

標準隔音罩

Acoustic Enclosure  (Bottom Enclosure)

1、 作用：環境密封隔音罩，以阻止外部聲和噪音

Environmentally sealed acoustic enclosure to block external acoustic and light noise

2、 尺寸：820×920×1190毫米

Size: 820×920×1190mm

3、 含：大理石落地平臺

Including: Marble landing platform

 

 

序號	目錄	招標商務需求
（一）免費保修期內售后服務要求
1	免費保修期	產品全部驗收合格后（以技術驗收合格簽字為標準），供方向需方免費提供 1   年上門保修服務。免費保修期內，所有貨物保修服務方式均為供方派員到用戶貨物使用現場進行保修，保修期內產生的一切費用均由供方承擔（含需要返原廠修理的所有費用）。供方如不能修理或不能調換，按產品原價賠償處理。 貨物的檢修期應以雙倍計算延長免費保修期。 質保期  1  年。保修承擔方為賣方，技術支持方為：生產商。   Warranty:one year
2	維修響應及故障解決時間	1、 維修響應時間：賣方應在2小時內對用戶的服務要求做出響應，需要到現場的2個工作日內到現場，重大問題或其他無法迅速解決的問題應在一周內解決或提出明確解決方案。 Response time: the seller should respond in 2 hours to the user's service request, if necessary,go to the spot in 2 working days, major issues or other problems can not be solved quickly, should be resolved within a week or a clear solution. 2、 售后服務支持方在深圳設立分公司，提供及時服務。 Service support should establish the branch companies in Shenzhen, to provide timely service.
……	其他	投標人應按其投標文件中的承諾，進行其他售后服務工作。
（三）其他商務要求
1	關于交貨	（1）合同簽訂后且免稅證明審批通過后 150  個日歷日內交貨，產品的附件、備品備件及專用工具應隨產品一同交付（以下幾種情況，交貨期經雙方協商可以順延：對于研制設備，研制過程中出現特殊情況）； （2）交貨（具體）地點：    深圳大學
		1.2投標人必須承擔的設備運輸、安裝調試、驗收檢測和提供設備操作說明書、圖紙等其他類似的義務。    1、 安裝調試：賣方負責將貨物送達到買方指定地點，在買方現場安裝、調試系統和培訓。 Installation: the seller is responsible for the delivery of the goods to the buyer designated place, in the buyer on-site installation, commissioning and training system   1、 儀器到達用戶所在地后，在接到用戶通知后2周內執行安裝調試直至達到驗收指標。 After the instrument to the user's location, in 2 weeks after receiving the user's notice to install and debug until the acceptance index. 2、 技術培訓：不少于5個工作日；包括儀器的工作原理、操作規程、數據處理、基本維護等。 Technical training: not less than 5 working days; including the working principle of the instrument, operating procedures, data processing, basic maintenance, etc..
2	關于驗收	1.1投標人貨物經過雙方檢驗認可后，簽署驗收報告，產品保修期自驗收合格之日起算，由投標人提供產品保修文件。
		貨物抵達目的地后的檢驗程序和期限 貨物抵達交貨地點后，供方應及時通知需方進行收貨檢驗，需方接到通知后安排人員對貨物的外包裝完好性和外包裝標示的品牌、型號、規格、數量是否符合要求進行檢驗，并簽署相應的收貨報告。 6．產品質量要求標準 （1）提供的貨物必須是合法廠家生產和經銷的原包裝產品（包括零配件），必須具備生產日期、廠名、廠址、產品合格證等。 （2）需方在中國使用該貨物或貨物的任何一部分時，免受第三方提出的侵犯其專利權、商標權或工業設計權等知識產權的起訴或司法干預。如果發生上述起訴或干預，則其法律責任均由供應商負責。 7．安裝、調試和驗收標準、程序及期限 （1）供方應委派技術人員進行現場安裝、調試，并提供貨物安裝調試的一切技術支持。 安裝調試的具體時間由需方提前3天通知供方。 （2）驗收內容包括但不限于：a. 型號、數量及外觀；b.貨物所附技術資料；c.貨物組件及配置；d.貨物功能、性能及各項技術參數指標。 （3）供需雙方及相關單位共同進行開箱檢驗。依據相關法律法規要求，邀請國家商檢部門進行商檢的，商檢、檢疫費用由供方承擔。供方負責免費安裝、調試。安裝、調試完成后，由供需雙方組成驗收小組共同進行技術驗收和商務驗收，驗收合格后簽署《驗收報告》。 產品質量和安裝調試檢驗標準遵照前述標準執行。 （4）驗收中如發現有質量不合格或型號規格、數量等與送貨清單不符等情況，供方應免費更換或補齊，并承擔因更換或補齊貨物所發生的進、出口環節綜合費用和代理費用以及違約責任。
……
……
……

備注：

1. “（一）免費保修期內售后服務要求”部分，請詳細列明免費保修期內的售后服務要求，內容包括但不限于免費保修期限、售后服務人員配備、技術培訓方案、質量保證、違約承諾、維修響應及故障解決時間、方案等。

2. “（二）免費保修期外售后服務要求”部分，請詳細列明免費保修期外的售后服務要求，內容包括但不限于零配件的優惠率、維修響應及故障解決時間、方案、提供的服務等。

3. “（三）其他商務要求”部分，如有補充，請詳細列明。

 

  

序號	貨物名稱	招標技術要求	投標技術響應	偏離情況	說明

 

  

序號	目錄	招標商務條款	投標商務條款	偏離情況	說明
（一）免費保修期內售后服務條款偏離表
1
2
……
（一）免費保修期外售后服務條款偏離表
1
2
……
（三）其他商務條款偏離表
1
2
……

 

   

評標信息

序號	評分項				權重
1	價格				30
2	技術部分				53
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	技術保障措施	10	專家打分	在投標文件中詳細說明是否有成熟的PPL功能模塊并提供應用資料，評審委員會根據響應情況進行橫向比較，按有或優100分，良80分，中60分，差0分打分。
	2	技術規格偏離情況	43	專家打分	1. 投標人應如實填寫《技術規格偏離表》，評審委員會根據技術需求參數響應情況進行打分，各項技術參數指標及要求全部滿足的得100分，每負偏離一項（重要條款）扣10分普通條款扣5分。
3	商務需求				9
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	免費保修期內售后服務條款偏離情況	6	專家評分	投標人應如實填寫《免費保修期內售后服務條款偏離表》，評審委員會根據響應情況進行打分，全部滿足要求的得100分，每負偏離一項扣50分。
	2	資質要求及其他商務需求	3	專家評分	投標人應如實填寫《其他商務條款偏離表》，評審委員會根據響應情況進行打分，全部滿足要求的得100分，每負偏離一項扣30分。
4		綜合實力部分			8
	序號	評分因素	權重	評分方式	評分準則
	1	投標人近三年同類業績	3	專家評分	提供3個同類業績即得滿分，提供2個得60分，提供1個得30分，未提供的不得分。投標人必須在投標文件中提供每一個完工項目的合同和驗收報告，否則不得分
	2	誠信	5	專家評分	根據《深圳市財政委員會關于加強招投標評審環節誠信管理的通知》（深財購[2013]27號）的要求，投標人在參與政府采購活動中存在誠信相關問題的，本項不得分，未出現相關誠信問題的得滿分。以深圳市政府采購履約評價庫和政府采購行政處罰記錄中的資料為準。履約評價無差評且沒有處罰記錄的得100分，有差評的或有處罰記錄得0分。投標人無需提供任何證明材料，由采購中心工作人員向評委會提供相關信息。